什么是立式管式炉?立式管式炉有什么优势？

硫化床立式管式炉，炉管为高纯石英管，炉管内部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔径可单独定制。粉末可放在多孔石英板上，气体

硫化床立式管式炉，炉管为高纯石英管，炉管内部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔径可单独定制。粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行沉积实验 。硫化床立式管式炉，适用于CVD工艺，如碳化硅涂层、陶瓷衬底导电性测试、二维材料生长、ZnO纳米结构可控生长、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结等实验，属于管式炉的一种。

立式管式炉的优势：

采用PID方式调节控温，可设置30段升降温程序。

控温精度±1ºC。

具有过温保护、断偶保护，仪表具有温度自整定的功能。

触摸屏操控，数据可储存可拷贝。

采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡。

注意： 在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量等 。